Ионно-лучевое травление золота (Au)

Оборудование: Ionfab 300 Plus

Особенности технологии:

• Вращающийся подложкодержатель с регулируемым углом наклона;
• Ионный источник диаметром 15 см и рабочей частотой 13,56 МГц.

Результаты:

• Скорость травления: 50-200 нм/мин;
• Маска: фоторезист;
• Селективность к фоторезисту: (1,5-3):1;
• Селективность к Al и Ti маскам: (3-5):1;
• Отсутствие перераспыления<;/li>
• Угол наклона стенок 30-90°;
• Равномерность <+5% (по подложке 100 мм).

Травление Au глубиной 4.5 мкм с углом наклона стенки 50^о (фоторезист не удален).

Анизотропное травление золота через титановую маску (лаборатория Университета Физики г. Касселя).

Зависимость скорости осаждения Au, Pt, Ag, Pd от энергии падающих ионов.

Зависимость плотности тока на мишени от диаметра источника (см) и расстояния от мишени до источника (см).