Ionfab 300Plus

Ионно-лучевая система для процессов нанесения и травления Ionfab 300Plus купить в Техноинфо

Ионно-лучевая система для процессов нанесения и травления.



Модульная ионно-лучевая система Ionfab 300Plus создана для проведения ионно-лучевых процессов нанесения и травления. Данная система находит применение в широком спектре приложений, в частности в микроэлектронике и при нанесении покрытий в оптике.

Система Ionfab 300Plus позволяет проводить ионно-лучевое травление и осаждение из нескольких источников. Системой реализуются следующие процессы:

  • Ионно-лучевое травление/распыление (IBE/IBM);
  • Реактивное ионно-лучевое травление (RIBE);
  • Химически-стимулированное ионно-лучевое травление (CAIBE);
  • Ионно-лучевое напыление (IBSD);
  • Ионно-стимулированное напыление (IASD);
  • Реактивное ионно-лучевое осаждение (RIBD).

Все процессы проводятся на пластинах диаметром от 100 мм до 200 мм. В процессах может быть использован широкий спектр материалов.