Реактивное ионно-лучевое травление кварца (SiO2)
Травление SiO2 глубиной 250 нм
Оборудование:
Особенности технологии:
процесс основан на фторной химии
реактивные газы подаются через ионный источник
угол наклона стенок может быть отрегулирован углом наклона подложкодержателя относительно пучка
система сконфигурирована c filamentless источником травления и кауфмановским источником осаждения
система сконфигурирована c filamentless источником травления и кауфмановским источником осаждения
Результаты:
скорость травления: 50 нм/мин
маска: Cr (50 нм)
угол наклона 25 градусов
реактивное ионно-лучевое травление SiO2 глубиной 250нм