Ионно-лучевое травление платины (Pt)

Оборудование: Ionfab 300 Plus

Особенности технологии:

• Вращающийся подложкодержатель с регулируемым углом наклона;
• Ионный источник диаметром 15 см и рабочей частотой 13,56 МГц.

Результаты:

• Скорость травления: 30 нм/мин;
• Маска: фоторезист;
• Селективность (1,5-2,5):1;
• Отсутствие перераспыления;
• Угол наклона стенок 30-85°;
• Равномерность +5% (по подложке 100 мм).

Травление Pt глубиной 2 мкм.

Зависимость скорости осаждения Au, Pt, Ag, Pd от энергии падающих ионов.

Зависимость плотности тока на мишени от диаметра источника (см) и расстояния от мишени до источника (см).