Микро- и нано-электроника

Отдел микро- и нано-электроники » Техноинфо» специализируется на комплексных решениях по подготовке, оснащению и обслуживанию лабораторий и технологических линеек микроэлектронных производств и смежных отраслей.

Оборудование:

• установки и технологии для процессов ALD, CVD, RIE, Sputter, E-beam и др;
• периферийное оборудование для технологических установок (шкафы под опасные газы, скрубберы, чиллеры и т.д.) и комплектующие;
• системы подачи и распределения ОСЧ газов.

Ремонт, обслуживание и диагностика технологического оборудования

• Проектирование и создание инфраструктуры особо чистых газов для снабжения технологических установок
• Подключение технологических установок к инфраструктуре заказчика
• Наладка техпроцессов
• Течеискание – проверка на герметичность отдельных узлов и газовых магистралей
• Аттестация помещений по виброакустическим и электромагнитным нагрузкам

Высокая квалификация инженеров с профильным образованием, наличие собственных производственных возможностей и многолетний опыт реализации сложных проектов (более 20 лет) для микроэлектронной и смежных отраслей гарантируют высококачественное выполнение работ и надежность оборудования.