Реактивное ионное травление оксида титана (TiO2)
Лаборатория Объединенного Восточного университета, Йоэнсуу (Финляндия): Травление TiO2 под наклоном 30о
Технология реактивного ионного травления:
реактивное ионное травление с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы - 13.56 МГц
Результаты:
- скорость травления : > 25 нм/мин
- профиль: наклонный (подложки находятся на наклонной плоскости)
- поверхность: низкая шероховатость
- равномерность: только на малых площадях
- маска: Cr