Травление титана (Ti)
Лаборатория OIPT: травление Ti на 22 мкм (фоторезист не удален)
 |
|---|
| Лаборатория OIPT: травление Ti на 22 мкм (фоторезист не удален) |
Технологические особенности:
- реактивное ионное травление с применением индуктивно-связанной плазмы с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы - 13.56 МГц
- среда: хлорсодержащая плазма
- ВЧ управляемый нижний электрод
- скорость: > 200 нм/мин
- щадящие параметры процесса
- селективность к фоторезисту 1 : 1
- профиль: анизотропный