Ионно-лучевое травление оксида иттрия-бария-меди (YBCO)

Ионно-лучевое травление оксида иттрия-бария-меди (YBCO), описание процесса и оборудование

[:ru]

 

Травление YBCO глубиной 1 мкм с фоторезистом при низких энергиях ионов (с благодарностью к FhG Berlin)

 

[:en]Травление YBCO глубиной 1 мкм с фоторезистом при низких энергиях ионов (с благодарностью к FhG Berlin)[:]

Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology


[:ru]
9282c0a17bc542d7d497f1c503f28585.jpeg
Увеличенное изображение фотографии травления YBCO на 1 мкм
 
FhG Berlin использует Ionfab 300 для реактивного ионно-лучевого травления высокотемпературных сверхпроводников, таких как YBCO. В основе системы лежит источник ионов Кауфмана с нитью накаливания, позднее модернизированного источником электронно-циклотронного резонанса (на сегодняшний день не рекомендуется).
 
1aa2553781110a40a029d15d8b4aac2a.gif
Графическая схема Ionfab 300 Plus с ВЧ источником
 


[:en]
9282c0a17bc542d7d497f1c503f28585.jpeg
Увеличенное изображение фотографии травления YBCO на 1 мкм

FhG Berlin использует Ionfab 300 для реактивного ионно-лучевого травления высокотемпературных сверхпроводников, таких как YBCO. В основе системы лежит источник ионов Кауфмана с нитью накаливания, позднее модернизированного источником электронно-циклотронного резонанса (на сегодняшний день не рекомендуется).

1aa2553781110a40a029d15d8b4aac2a.gif
Графическая схема Ionfab 300 Plus с ВЧ источником



[:]