Реактивное ионное травление оксида титана (TiO2)
Лаборатория Объединенного Восточного университета, Йоэнсуу (Финляндия): Травление TiO2 под наклоном 30°.
Технология реактивного ионного травления: реактивное ионное травление с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы - 13.56 МГц.
Результаты:
- Скорость травления : > 25 нм/мин;
- Профиль: наклонный (подложки находятся на наклонной плоскости);
- Поверхность: низкая шероховатость;
- Равномерность: только на малых площадях;
- Маска: Cr.