Напыление оксида кремния (SiO2)

Оборудование:

Ionfab 300 Plus

Особенности технологического процесса:

• Скорость осаждения: > 20 нм/мин;
• Равномерность осаждения: <±0.5% по пластине в 150 мм (<±0.1% по диаметру 20 мм);
• Коэффициент преломления: 1,4868 (632,8 нм), 1,4738 (1550 нм);
• Повторяемость от пластины к пластине: ±0.0005;
• Внутренние напряжения в пленке: < 300 МПа (сжимающие).

Зависимость толщины покрытия (А) от радиуса (мм).

Дисперсия коэффициента преломления по длинам волн.