Реактивное ионно-лучевое травление ниобата лития (LiNbO3)

Оборудование: Ionfab 300 Plus

Особенности технологии:

• Аргон и фторсодержащий газ напускают через ВЧ источник;
• Подложка закреплена на охлаждаемом подложкодержателе.

Результаты:

• Скорость травления: 70 нм/мин;
• Селективность к фоторезисту: низкая;
• Профиль: анизотропный;
• Хорошая равномерность (для процесса с одной пластиной).

Глубокое анизотропное травление LiNbO3 - 10 мкм (лаборатория OIPT).

Следует отметить некоторые дефекты:

• Эрозия фоторезиста приводит к фасеттированию;
• "Затенение" канавок зависит от величины аспектного соотношения и угла наклона травления.