Skip

Напыление оксида кремния (SiO2)

Применение SiO2 для оптических фильтров


Оборудование:

Ionfab 300 Plus

Особенности технологического процесса:
  • Скорость осаждения: > 20 нм/мин
  • Равномерность осаждения: <± 0.5 % по пластине в 150 мм (<± 0.1 % по диаметру 20мм)
  • Коэффициент преломления: 1,4868 (632,8 нм), 1,4738 (1550 нм)
  • Повторяемость от пластины к пластине: ± 0.0005
  • Внутренние напряжения в пленке: < 300 МПа (сжимающие)
Optofab uniformity
Зависимость толщины покрытия (А) от радиуса (мм)

Sio2 IBS Dispersion
Дисперсия коэффициента преломления по длинам волн