Травление бензоциклобутена (BCB) с применением ICP источника
Институт прикладной физики твердого тела Фраунгофера.
Оборудование:
PlasmaPro80
PlasmaPro100
Особенности технологии:
- Реактивное ионное травление с применением источника индуктивно-связанной плазмы;
- Гелиевый поддув для теплового контакта.
Результаты:
- Скорость травления: 200 нм/мин;
- Равномерность: +/-2,5% (по 150 мм подложке).
