Сухое травление полидиметилсилоксана (ПДМС)
Травление ПДМС на глубину 90 мкм, контролируемый профиль стенок (здесь 92°).
Оборудование:
PlasmaPro80
PlasmaPro100
Особенности технологии:
- Реактивное ионное травление с применением источника индуктивно-связанной плазмы (ICP);
- Гелиевый поддув под подложку.
Результаты:
Травление ПДМС на глубину 90 мкм, контролируемый профиль стенок (здесь 92°). Загрязнения связаны с подготовкой образца к анализу.
- Скорость травления 1,2 мкм/мин;
- Селективность к Cu маске: >50:1;
- Равномерность: +/- 3,5% по 200 мм подложке;
- Профиль стенок: 89-95о (технологически контролируемый);
- Повышение температуры ведет к изменению профиля.