Реактивное ионное травление фоторезиста
Ширина полос фоторезиста — 0,3 мкм.
Оборудование:
Особенности технологии:
- Реактивное ионное травление;
- Система оборудована лазерным интерферометром для определения конечной точки травления;
- Рабочая среда: кислород или фторсодержащий газ.
Результаты:
- скорость травления 50 нм/мин;
- равномерность: +/-3%;
- ширина стенок - 0,3мкм.