Сухое травление фоторезиста SU-8
Изотропное реактивное травление SU-8 с применением ICP источника плазмы на оборудовании PlasmaPro80 и PlasmaPro100. Особенности технологии, результаты.
Оборудование:
Особенности технологии:
Реактивное ионное травление с или без применения источника индуктивно-связанной плазмы (ICP)
Результаты:
- Анизотропное реактивное ионное травление фоторезиста SU-8 на глубину 20 мкм
маска - Ni, скорость травления - 1,5 мкм/мин
- Изотропное реактивное травление с применением источника индуктивно-связанной плазмы (ICP)
горизонтальная скорость травления > 1 мкм/мин
