Напыление оксида тантала (Ta2O5)

Оборудование:

Ionfab 300 Plus

Особенности технологического процесса:

• Скорость осаждения: > 30 нм/мин
• Равномерность осаждения: <± 0.5 % по пластине в 150 мм (<± 0.1 % по диаметру 20мм)
• Коэффициент преломления: 2,1585 (632,8 нм), 2,0995 (1550 нм)
• Повторяемость от пластины к пластине: ±0.0014
• Внутренние напряжения в пленке: < 200 МПа (сжимающие)

Дисперсия коэффициента преломления по длинам волн