Напыление оксида тантала (Ta2O5)
Оборудование:
Особенности технологического процесса:
- Скорость осаждения: > 30 нм/мин
- Равномерность осаждения: <± 0.5 % по пластине в 150 мм (<± 0.1 % по диаметру 20мм)
- Коэффициент преломления: 2,1585 (632,8 нм), 2,0995 (1550 нм)
- Повторяемость от пластины к пластине: ±0.0014
- Внутренние напряжения в пленке: < 200 МПа (сжимающие)
Дисперсия коэффициента преломления по длинам волн