Напыление оксида тантала (Ta2O5)

Оборудование:

Ionfab 300 Plus

Особенности технологического процесса:

• Скорость осаждения: > 30 нм/мин;
• Равномерность осаждения: <±0.5% по пластине в 150 мм (<±0.1% по диаметру 20 мм);
• Коэффициент преломления: 2,1585 (632,8 нм), 2,0995 (1550 нм);
• Повторяемость от пластины к пластине: ±0.0014;
• Внутренние напряжения в пленке: < 200 МПа (сжимающие).

Дисперсия коэффициента преломления по длинам волн.