Напыление DLC покрытия

Оборудование:

Ionfab 300 Plus

Особенности технологического процесса:

• Скорость осаждения: 15-25 нм/мин;
• Хорошая адгезия к Si, SiO₂, полимерам;
• Твердость по Кнупу при нагрузке 10г: 17,3 ГПа (на кремнии);
• Твердость по Мосу - 9;
• Микротвердость по Виккерсу 2000-5000 кг/мм²;
• Напыление проходит при комнатной температуре;
• Оптические прозрачные тонкие пленки имеют желтоватый или слегка коричневый оттенок.

Применение:

• Защита пластичных линз от царапин;
• Защитные покрытия (барьерные) для оптических дисков, волоконной оптики, биоимплантов;
• Износостойкие покрытия для головок жестких дисков;
• Защитные покрытия для режущих инструментов, уменьшающих трение между инструментом и обрабатываемой поверхностью;
• Защитные покрытия для оптических и инфракрасных окон, уменьшающие повреждения от царапин.

Схема установки по ионно-лучевому напылению: