Анизотропное реактивное травление полиметилметакрилата (ПММА)
Технологический институт микроструктур, Карлсруэ: глубокое травление ПММА (с помощью O2).
Оборудование:
PlasmaPro80
PlasmaPro100
Особенности технологии:
- Реактивное ионное травление;
- Реактор из параллельных пластин с частотой работы 13,56 МГц.
Результаты:
Горячее тиснение является простым методом для воспроизведения микроструктур. В вакууме формовочным инструментом прессуют нагретый термопластичный полимер. Для последующего электроформования дополнительных металлических структур остаточный полимерный слой, который неизбежно остается между подложкой и формовочным инструментом, должен быть удален методом реактивного ионного травления.
- Высота ПММА структуры: 150 мкм;
- Толщина удаляемого остаточного слоя: 30 мкм;
- Самые узкие тренчи: 8 мкм;
- Самые тонкие стенки: 10 мкм;
- Вертикальная скорость травления: 6 мкм/ч;
- Горизонтальная скорость травления: 0,7 мкм/ч.
