Напыление оксида алюминия (Al2O3)

Ионно-лучевое напыление Al2O3.

Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology


Оборудование:

Ionfab 300 Plus

Высокоскоростное напыление Al2O3

  • Скорость осаждения: > 6.6 нм/мин;
  • Равномерность осаждения: <±5% по пластине в 100 мм;
  • Коэффициент преломления: 1,670 ±0,0025;
  • Внутренние напряжения: 400-500 МПа (сжимающие);
  • Температура подложки: <60° (без охлаждения).

Высокоравномерное напыление Al2O3 (мишень из оксида алюминия)

  • Скорость осаждения: > 5 нм/мин;
  • Равномерность осаждения: <±1% по пластине в 100 мм; <±2,5% по пластине в 150 мм;
  • Коэффициент преломления: 1,670 ±0,0025;
  • Внутренние напряжения: 400-500 МПа (сжимающие);
  • Температура подложки: <60° (без охлаждения).

Al2O3 IBS uniformity
Зависимость толщины покрытия Al2O3 от радиуса.

Скорость осаждения Al2O3 из алюминиевой мишени (~22 нм/мин) в среде кислорода и аргона больше чем скорость осаждения из диэлектрической мишени (~16 нм/мин), при этом внутренние сжимающие напряжения наоборот получаются меньше (330 МПа против 360 МПа).