Напыление оксида алюминия (Al2O3)

Оборудование:

Ionfab 300 Plus

Высокоскоростное напыление Al₂O₃

• Скорость осаждения: > 6.6 нм/мин;
• Равномерность осаждения: <±5% по пластине в 100 мм;
• Коэффициент преломления: 1,670 ±0,0025;
• Внутренние напряжения: 400-500 МПа (сжимающие);
• Температура подложки: <60° (без охлаждения).

Высокоравномерное напыление Al₂O₃ (мишень из оксида алюминия)

• Скорость осаждения: > 5 нм/мин;
• Равномерность осаждения: <±1% по пластине в 100 мм; <±2,5% по пластине в 150 мм;
• Коэффициент преломления: 1,670 ±0,0025;
• Внутренние напряжения: 400-500 МПа (сжимающие);
• Температура подложки: <60° (без охлаждения).

Зависимость толщины покрытия Al₂O₃ от радиуса.

Скорость осаждения Al₂O₃ из алюминиевой мишени (~22 нм/мин) в среде кислорода и аргона больше чем скорость осаждения из диэлектрической мишени (~16 нм/мин), при этом внутренние сжимающие напряжения наоборот получаются меньше (330 МПа против 360 МПа).