Skip

Напыление оксида алюминия (Al2O3)

Ионно-лучевое напыление Al2O3


Оборудование:

Ionfab 300 Plus

1. Высокоскоростное напыление Al2O3
  • Скорость осаждения: > 6.6 нм/мин
  • Равномерность осаждения: <± 5 % по пластине в 100 мм
  • Коэффициент преломления: 1,670 +/- 0,0025
  • Внутренние напряжения: 400-500 МПа (сжимающие)
  • Температура подложки: <60o (без охлаждения)
2. Высокоравномерное напыление Al2O3 (мишень из оксида алюминия)
  • Скорость осаждения: > 5 нм/мин
  • Равномерность осаждения: <± 1 % по пластине в 100 мм; <± 2,5 % по пластине в 150 мм
  • Коэффициент преломления: 1,670 +/- 0,0025
  • Внутренние напряжения: 400-500 МПа (сжимающие)
  • Температура подложки: <60o (без охлаждения)
Al2O3 IBS uniformity
Зависимость толщины покрытия Al2O3 от радиуса

Скорость осаждения Al2O3 из алюминиевой мишени (~22 нм/мин) в среде кислорода и аргона больше чем скорость осаждения из диэлектрической мишени (~16 нм/мин), при этом внутренние сжимающие напряжения наоборот получаются меньше (330 МПа против 360 МПа)