Skip

Ионно-лучевое травление золота (Au)

Глубокое травление Au 3 мкм с фоторезистивной маской (не удалена)



Оборудование:
Ionfab 300 Plus

Особенности технологии:
вращающийся подложкодержатель с регулируемым углом наклона
ионный источник диаметром 15 см и рабочей частотой 13,56 МГц

Результаты:
скорость травления: 50-200 нм/мин
маска: фоторезист
селективность к фоторезисту: (1,5-5) : 1
селективность к Al и Ti маскам: >20 : 1
отсутствие перераспыления
угол наклона стенок 30-90о
равномерность <+5% (по подложке 100 мм)
03b7c737f7a09a79d9a94518b308db6c.jpeg
Травление Au глубиной 4.5 мкм с углом наклона стенки 50о (фоторезист не удален)

3508e44f03e3f43df2cb67e908294514.jpeg
Анизотропное травление золота через титановую маску (лаборатория Университета Физики г. Касселя)

rate vs beam energy
Зависимость скорости осаждения Au, Pt, Ag, Pd от энергии падающих ионов.

beam profile
Зависимость плотности тока на мишени от диаметра источника (см) и расстояния от мишени до источника (см)