Skip

Ионно-лучевое травление платины (Pt)

Травление Pt глубиной 2 мкм



Оборудование:
Ionfab 300 Plus

Особенности технологии:
вращающийся подложкодержатель с регулируемым углом наклона
ионный источник диаметром 15 см и рабочей частотой 13,56 МГц

Результаты:
скорость травления: 30 нм/мин
маска: фоторезист
селективность (1,5-2,5) : 1
отсутствие перераспыления
угол наклона стенок 30-85о
равномерность +5% (по подложке 100 мм)
04128c2106c25a6624467bbbfb895e6a.jpeg
Травление Pt глубиной 2 мкм
rate vs beam energy
Зависимость скорости осаждения Au, Pt, Ag, Pd от энергии падающих ионов.
beam profile
Зависимость плотности тока на мишени от диаметра источника (см) и расстояния от мишени до источника (см)