Skip

Напыление DLC покрытия

Ионно-лучевое напыление DLC покрытия в лаборатории OIPT


Оборудование:

Ionfab 300 Plus

Особенности технологического процесса:
  • Скорость осаждения: 15-25 нм/мин
  • хорошая адгезия к Si, SiO2, полимерам
  • твердость по Кнупу при нагрузке 10г: 17,3 ГПа (на кремнии)
  • твердость по Мосу - 9,
  • микротвердость по Виккерсу 2000-5000 кг/мм2
  • напыление проходит при комнатной температуре
  • оптические прозрачные тонкие пленки имеют желтоватый или слегка коричневый оттенок
Возможное применение:
  • защита пластичных линз от царапин
  • защитные покрытия (барьерные) для оптических дисков, волоконной оптики, биоимплантов
  • износостойкие покрытия для головок жестких дисков
  • защитные покрытия для режущих инструментов, уменьшающих трение между инструментом и обрабатываемой поверхностью
  • защитные покрытия для оптических и инфракрасных окон, уменьшающие повреждения от царапин
Схема установки по ионно-лучевому напылению:
ib_www.gif