Напыление оксида титана (TiO2)

Оборудование:

Ionfab 300 Plus

Особенности технологического процесса:

1. Низкоэнергетичный:
   • Скорость осаждения: > 8 нм/мин;
   • Равномерность осаждения: <±0.5% по пластине в 150 мм (<±3% по пластине в 200 мм).
2. Высокоэнергетичный:
   • Скорость осаждения: > 12 нм/мин;
   • Коэффициент преломления 2,468 (632 нм);
   • Равномерность осаждения: <±0.5% по пластине в 150 мм (<±3% по пластине в 200 мм).

Дисперсия коэффициента преломления по длинам волн (низкоэнергетичный процесс).