Skip

Напыление оксида титана (TiO2)

Напыление TiO2 для оптических фильтров


Оборудование:

Ionfab 300 Plus

Особенности технологического процесса:
1. Низкоэнергетичный
  • Скорость осаждения: > 8 нм/мин
  • Равномерность осаждения: <± 0.5 % по пластине в 150 мм (<± 3 % по пластине в 200 мм)
2. Высокоэнергетичный
  • Скорость осаждения: > 12 нм/мин
  • Коэффициент преломления 2,468 (632 нм)
  • Равномерность осаждения: <± 0.5 % по пластине в 150 мм (<± 3 % по пластине в 200 мм)
5d6aef9c89bcffa1d5dd56de312e2ad2.gif
Дисперсия коэффициента преломления по длинам волн (низкоэнергетичный процесс)