Skip

Напыление оксида тантала (Ta2O5)

Применение Ta2O5 для оптических фильтров


Оборудование:

Ionfab 300 Plus

Особенности технологического процесса:
  • Скорость осаждения: > 30 нм/мин
  • Равномерность осаждения: <± 0.5 % по пластине в 150 мм (<± 0.1 % по диаметру 20мм)
  • Коэффициент преломления: 2,1585 (632,8 нм), 2,0995 (1550 нм)
  • Повторяемость от пластины к пластине: ±0.0014
  • Внутренние напряжения в пленке: < 200 МПа (сжимающие)
Dispersion curve SiO2 IBS

Дисперсия коэффициента преломления по длинам волн