Skip

Травление титана (Ti)

Лаборатория OIPT: травление Ti на 22 мкм (фоторезист не удален)


f9514030c1d3d1f7cdadc9c9b07843db.jpeg
Лаборатория OIPT: травление Ti на 22 мкм (фоторезист не удален)
Технологические особенности:
  • реактивное ионное травление с применением индуктивно-связанной плазмы с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы - 13.56 МГц
  • среда: хлорсодержащая плазма
  • ВЧ управляемый нижний электрод
Результаты:
  • скорость: > 200 нм/мин 
  • щадящие параметры процесса
  • селективность к фоторезисту 1 : 1
  • профиль: анизотропный