Травление титана (Ti)

Лаборатория OIPT: травление Ti на 22 мкм (фоторезист не удален).

Технологические особенности:

• Реактивное ионное травление с применением индуктивно-связанной плазмы с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы - 13.56 МГц;
• Среда: хлорсодержащая плазма;
• ВЧ управляемый нижний электрод.

Результаты:

• Скорость: > 200 нм/мин;
• Щадящие параметры процесса;
• Селективность к фоторезисту 1:1;
• Профиль: анизотропный.