Зависимость скорости травления от аспектного соотношения (ARDE)

Эффект зависимости скорости травления от аспектного соотношения очень часто возникает в процессах сухого травления, особенно в процессах проходящих с большой скоростью. В этих случаях скорость травления часто ограничивается скоростью доставки реактивных частиц к нижней части тренча, а также скоростью транспорта продуктов травления в обратном направлении. Есть несколько путей решения этих проблем но за счет скорости травления, селективности или качества профиля. Важно понимать этот эффект для правильного проектирования МЭМС структур.

Реактивное ионное травление Si на 10 мкм с использованием химии Cl/F:

Бош-травление Si на глубину 110 мкм без зависимости скорости травления от аспектного соотношения:

Бош-травление Si на 80 мкм:

Зависимость скорости травления от аспектного отношения

Зависимость скорости травления от ширины тренча