Выращивание углеродных нанотрубок и осаждение Pt
Углеродные нанотрубки диаметром — 45 нм, высота — 1 мкм с аспектным соотношением 40.
Оборудование:
Технологические особенности:
- кластерная система выращивания CNT и осаждения Pt:
- камера 1 - выращивание углеродных нанотрубок и процессов хим. осаждения
- камера 2 - атомно-слоевое осаждение
Результаты:
Фото углеродных нанотрубок, выращенных в Nanofab1200, с SEM и EDX анализ (в углу). Диаметр нанотрубок 45 нм, аспектное соотношение - 40
Фото с SEM углеродных нанотрубок, покрытых слоем платины (атомно-слоевое осаждение) толщиной 25 нм и EDX анализ (в углу). Стало возможным осаждать пленки поверх углеродных нанотрубок без функционализации их поверхности перед осаждением.