Травление бензоциклобутена (BCB) с применением ICP источника
Институт прикладной физики твердого тела Фраунгофера
Оборудование:
PlasmaPro80
PlasmaPro100
Особенности технологии:
Реактивное ионное травление с применением источника индуктивно-связанной плазмы
гелиевый поддув для теплового контакта
Результаты:
- скорость травления: 200 нм/мин
- равномерность: +/- 2,5% (по 150 мм подложке)
