Травление бензоциклобутена (BCB) с применением ICP источника

Травление бензоциклобутена (BCB) с применением ICP источника, описание процесса и оборудование

[:ru]

 

Институт прикладной физики твердого тела Фраунгофера

 

[:en]Институт прикладной физики твердого тела Фраунгофера [:]

Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology


[:ru]

Оборудование:
PlasmaPro80
PlasmaPro100

Особенности технологии:
Реактивное ионное травление с применением источника индуктивно-связанной плазмы
гелиевый поддув для теплового контакта


Результаты:

  • скорость травления: 200 нм/мин
  • равномерность: +/- 2,5% (по 150 мм подложке)

SEM

[:en]

Оборудование:
PlasmaPro80
PlasmaPro100

Особенности технологии:
Реактивное ионное травление с применением источника индуктивно-связанной плазмы
гелиевый поддув для теплового контакта


Результаты:

  • скорость травления: 200 нм/мин
  • равномерность: +/- 2,5% (по 150 мм подложке)

SEM

[:]