Травление бензоциклобутена (BCB) с применением ICP источника

Травление бензоциклобутена (BCB) с применением ICP источника, описание процесса и оборудование

Институт прикладной физики твердого тела Фраунгофера.

Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology


Оборудование:
PlasmaPro80
PlasmaPro100

Особенности технологии:

  • Реактивное ионное травление с применением источника индуктивно-связанной плазмы;
  • Гелиевый поддув для теплового контакта.

Результаты:

  • Скорость травления: 200 нм/мин;
  • Равномерность: +/-2,5% (по 150 мм подложке).

SEM