Реактивное ионное травление селенида свинца (PbSe)
Лаборатория OIPT: Глубокое (0,7 мкм) травление PbSe, фоторезист удален
Технологические особенности
реактивное ионное травление с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы - 13.56 МГц
Результаты:
- скорость: 50 - 100 нм/мин
- маска: фоторезист
- равномерность 5% (по пластине 75 мм)
- селективность к фоторезисту 5 : 1
- профиль анизотропный, слегка шероховатый