PlasmaPro 800 RIE

Производство: Oxford Instruments Plasma Technology

PlasmaPro 800 RIE — это высокопроизводительная система с открытой загрузкой для процессов травления.

PlasmaPro 800 PECVD

Производство: Oxford Instruments Plasma Technology

PlasmaPro 800 PECVD — это высокопроизводительная система плазмохимического осаждения с открытой загрузкой.