PlasmaPro 800 RIE

Производство: Oxford Instruments Plasma Technology

Высокопроизводительная система с открытой загрузкой для процессов травления.

PlasmaPro 800 PECVD

Производство: Oxford Instruments Plasma Technology

Высокопроизводительная система плазмохимического осаждения с открытой загрузкой.