Атомно-слоевое осаждение оксида титана (TiO2) с применением озона

Зависимость толщины пленки от количества циклов атомного осаждения: для кислородной плазмы - озона - воды, с использованием прекурсора Ti(Cp^Me)(NMe₂)₃ при 200° C

Зависимость толщины пленки от количества циклов атомного осаждения: для кислородной плазмы - озона - воды, с использованием прекурсора Ti(Cp*)(OMe)3 при 360°C

Озон более активен чем вода, но менее активен чем радикалы кислорода. Однако, иногда использование озона более предпочтительно, например, когда радикалы кислорода рекомбинируют слишком быстро для получения высокого аспектного соотношения.