Skip

Ionfab 300Plus



Ионно-лучевая система для процессов нанесения и травления.

запросить коммерческое предложение...запросить сервисную поддержку...

Модульная ионно-лучевая система Ionfab300Plus создана для проведения ионно-лучевых процессов нанесения и травления. Данная система находит применение в широком спектре приложений, в частности в микроэлектронике и при нанесении покрытий в оптике.

Система Ionfab300Plus позволяет проводить ионно-лучевое травление и осаждение из нескольких источников. Системой реализуются следующие процессы:
• Ионно-лучевое травление/распыление (IBE/IBM)
• Реактивное ионно-лучевое травление (RIBE)
• Химически-стимулированное ионно-лучевое травление (CAIBE)
Ионно-лучевое напыление (IBSD)
• Ионно-стимулированное напыление (IASD)
• Реактивное ионно-лучевое осаждение (RIBD)

Все процессы проводятся на пластинах диаметром от 100 мм до 200 мм. В процессах может быть использован широкий спектр материалов.