Skip

Травление бензоциклобутена (BCB) с применением ICP источника

Институт прикладной физики твердого тела Фраунгофера


Оборудование:
PlasmaPro80
PlasmaPro100

Особенности технологии:
Реактивное ионное травление с применением источника индуктивно-связанной плазмы
гелиевый поддув для теплового контакта


Результаты:

  • скорость травления: 200 нм/мин
  • равномерность: +/- 2,5% (по 150 мм подложке)

SEM