Микро- и нано-электроникаАнализ поверхностиИсследование структуры и химического составаБиология и биотехнологияГеология и петрофизикаТехнологическое оборудование
Ионно-лучевое травление оксида иттрия-бария-меди (YBCO)
Травление YBCO глубиной 1 мкм с фоторезистом при низких энергиях ионов (с благодарностью к FhG Berlin)
Увеличенное изображение фотографии травления YBCO на 1 мкм
FhG Berlin использует Ionfab 300 для реактивного ионно-лучевого травления высокотемпературных сверхпроводников, таких как YBCO. В основе системы лежит источник ионов Кауфмана с нитью накаливания, позднее модернизированного источником электронно-циклотронного резонанса (на сегодняшний день не рекомендуется).
Графическая схема Ionfab 300 Plus с ВЧ источником