Skip

Атомно-слоевое осаждение оксида титана (TiO2) с применением озона



K7%20TiO2%20oz%20ALD%202.gif

Зависимость толщины пленки от количества циклов атомного осаждения: для кислородной плазмы - озона - воды, с использованием прекурсора Ti(CpMe)(NMe2)3 при 200° C

K7%20TiO2%20oz%20ALD%201.gif

Зависимость толщины пленки от количества циклов атомного осаждения: для кислородной плазмы - озона - воды, с использованием прекурсора Ti(Cp*)(OMe)3 при 360°C 

Озон более активен чем вода, но менее активен чем радикалы кислорода. Однако, иногда использование озона более предпочтительно, например, когда радикалы кислорода рекомбинируют слишком быстро для получения высокого аспектного соотношения.