Атомно-слоевое осаждение платины (Pt) — термическое и с применением удаленного источника плазмы

Покрытие из платины, осажденное на текстильный материал.

Зависимость скорости роста пленки от температуры процесса. Можно видеть, что варьирую концентрацией кислорода в удаленной плазме кислород можно получать как чистую Pt пленку, так и оксидную пленку PtO_2.

Зависимость толщины пленки от количества циклов атомно-слоевого осаждения.

При чистом термическом ALD сложно получить платиновое покрытие ввиду отсутствия образования связей между атомами платины и кислорода. В этом случае удаленная плазма может помочь в создании зародышевого слоя. Как только процесс ALD платины запущен, он может быть продолжен как термическим механизмом, так и с помощью удаленной плазмы, при этом скорость будет примерно одинакова.

Технологические особенности:

• Металлический прекурсор: MeCpPtMe₃;
• Неметаллический прекурсор: плазма с содержанием O₂;
• Наличие водородной плазмы уменьшает температуру осаждения Pt покрытия.

Результаты:

• О₂ содержащая плазма значительно снижает время образования зародышевого слоя;
• Скорость осаждения 0,45 А/цикл (время цикла 7-8 с) --> 0.3-0.4нм/мин --> 18-24 нм/час;
• Сопротивление < 13 мкОм см (равномерность +/- 2%).

В системах OIPT процесс ALD может быть выполнен с использованием:

• только термического механизма;
• ассистирования озоном;
• ассистирования удаленной плазмой без изменения конфигурации оборудования.

Многошаговый процесс с использованием всех этих технологий может быть применен в случае необходимости.