Травление меди (Cu) — анализ отказов

Технологические особенности:

• Травление с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы - 13.56 МГц;
• Среда: хлорсодержащая плазма;
• Подача рабочего газа через газовый душ.

Результаты:

• Скорость: > 300 нм/мин;
• Равномерность 5% (по пластине 200 мм);
• Селективность к SiO₂ 1:1;
• Безостаточное травление.