Skip

Реактивное ионное травление оксида титана (TiO2)

Лаборатория Объединенного Восточного университета, Йоэнсуу (Финляндия): Травление TiO2 под наклоном 30о


t5_01.jpg

Технология реактивного ионного травления:

реактивное ионное травление с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы - 13.56 МГц

Результаты:

  • скорость травления : > 25 нм/мин
  • профиль: наклонный (подложки находятся на наклонной плоскости)
  • поверхность: низкая шероховатость
  • равномерность: только на малых площадях
  • маска: Cr