Сухое травление боросиликатного стекла

Лаборатория OIPT: травление микрофлюидного канала глубиной 15 мкм в стекле.	Лаборатория OIPT: анизотропное травление стекла, глубина 10 мкм.

Результаты:

• Скорость травления: примерно 186 нм/мин;
• Селективность к Cr маске: > 30:1;
• Профиль: 78°;
• Боковые стенки: немного шероховатые.

Состав боросиликатного стекла:

• SiO₂ - 81%;
• B₂O₃ - 9%;
• Na₂/K₂O - 4%;
• Al₂O₃ - 2%.

Натрий и калий, содержащиеся в стекле, создают определенные проблемы и ограничивают скорость травления, обычно эти элементы травятся физическим распылением.