Skip

Сухое травление боросиликатного стекла

Лаборатория OIPT: анизотропное травление стекла, глубина 10 мкм


ge%2001.jpgge02.jpg
Лаборатория OIPT: травление микрофлюидного канала глубиной 15 мкм в стекле
Лаборатория OIPT: анизотропное травление стекла, глубина 10 мкм

Результаты:

  • скорость травления: примерно 186 нм/мин
  • селективность к Cr маске: > 30 : 1
  • профиль: 78о
  • боковые стенки: немного шероховатые

Состав боросиликатного стекла:

SiO2 - 81%
B2O3 - 9%
Na2/K2O - 4%
Al2O3 - 2%

Натрий и калий, содержащиеся в стекле, создают определенные проблемы и ограничивают скорость травления, обычно эти элементы травятся физическим распылением