Skip

Реактивное ионное травление селенида свинца (PbSe)

Лаборатория OIPT: Глубокое (0,7 мкм) травление PbSe, фоторезист удален


fr_1.jpg


Технологические особенности

реактивное ионное травление с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы - 13.56 МГц

Результаты:
  • скорость: 50 - 100 нм/мин 
  • маска: фоторезист
  • равномерность 5% (по пластине 75 мм)
  • селективность к фоторезисту 5 : 1
  • профиль анизотропный, слегка шероховатый