Skip

Травление молибдена (Mo)



f9514030c1d3d1f7cdadc9c9b07843db.jpeg
92eabde9db630fbf04844845dfa25cb4.jpeg
ao02.jpg
Анизотропное травление (профиль 80°) структуры Mo(160 нм)/Au(250нм)/Mo(30нм) (фоторезист не удален)
Анизотропное травление (профиль 85°) молибдена толщиной 200 нм при скорости травления 60 нм, фоторезист удален ультразвуком
​Травление золота распылением в среде аргона со скоростью 7 нм/мин
Технологические особенности:
  • реактивное ионное травление Mo во фторсодержащей среде
Результаты:
  • скорость: 30 - 120 нм/мин 
  • профиль: анизотропный 80-87о
  • равномерность 5%
  • селективность к фоторезисту 1 : 1
  • селективность к SiO2 маске 10 : 1