Травление Au, Pt, Ni физическим распылением

Лаборатория OIPT: Травление золота (Au) 0.5 мкм.	Лаборатория OIPT: Травление золота (Au) 1 мкм.
​Лаборатория OIPT: Травление платины (Pt) 0.12 мкм и 400 нм ЦТС структуры (цирконат-титанат свинца). Фоторезист не удален.	​Лаборатория OIPT: Травление никеля (Ni) 1.4 мкм. Фоторезист не удален.

Травление в системах спроектированных для RIE (реактивное ионное травление) и ICP RIE (реактивное травление с применением индуктивно-связанной плазмы) процессов:

• Pt > 10 нм/мин (RIE в среде аргона);
• Pt > 50 нм/мин (ICP в среде аргона);
• Au > 40 нм/мин (RIE в среде аргона);
• Au > 120 нм/мин (ICP в среде аргона);
• Ni > 8 нм/мин (RIE в среде аргона);
• Селективность к фоторезистивной маске 1:1 (RIE);
• Равномерность RIE (загрузка в 12 пластин) < 7%;
• Равномерность RIE или ICP(по одной пластине 4"/6") < 4/5%.

В некоторых случаях (редко) физическое травление в реакторе с параллельными электродами (спроектированных для процессов RIE) предпочтительнее чем травление ионным пучком ввиду выгоды в производительности/стоимости продукции.

Зависимость скорости травления платины Pt и селективноcти к SiO₂ от температуры нижнего электрода.