Skip

Травление ЦТС (цирконат-титанат свинца)

Лаборатория OIPT: анизотропное травление с применением источника индуктивно-связанной плазмы структуры ЦТС(400нм)/Pt(120нм)/Ti(30нм)/низкотемпературный оксид (на заданную глубину).

Фоторезистивная маска не удалена


4391338c81f8b3fb71ffc404fa61b50f.jpeg8004794a83189c268bf200478e84a7d7.jpeg
Лаборатория OIPT: анизотропное реактивное ионное травление ЦТС толщиной 1 мкм (Фоторезист удален)
Лаборатория OIPT: анизотропное реактивное ионное травление ЦТС толщиной 1 мкм (Фоторезист не удален)

RIE (реактивное ионное травление):
анизотропное травление
скорость: примерно 20 нм/мин
селективность к фоторезисту > 1 : 1
селективность к лежащему в основе платиновому слою > 50 : 1
равномерность ± 3 % (по 100 мм подложке)

ICP - RIE (реактивное ионное травление с применением индуктивно-связанной плазмы):
анизотропное травление
скорость: 60 - 180 nm/ min
селективность к фоторезисту > 0.5
равномерность ± 3 % (по 100 мм подложке)

Для достижения вертикальных стенок и примерно постоянной скорости травления через всю ЦТС структуру и Pt слой может быть реализован многошаговый процесс. Процесс может быть оптимизирован, после окончания травления ЦТС структуры, при переходе к травлению платины возможно добиться селективности > 50 : 1. Возможен контроль конечной точки травления с помощью лазерного интерферометра или по оптической эмиссии.