Травление ЦТС (цирконат-титанат свинца)
Лаборатория OIPT: анизотропное травление с применением источника индуктивно-связанной плазмы структуры ЦТС (400 нм) / Pt (120 нм) / Ti (30 нм) / низкотемпературный оксид (на заданную глубину).
Лаборатория OIPT: анизотропное реактивное ионное травление ЦТС толщиной 1 мкм (фоторезист удален).
Лаборатория OIPT: анизотропное реактивное ионное травление ЦТС толщиной 1 мкм (фоторезист не удален).
RIE (реактивное ионное травление):
- анизотропное травление;
- скорость: примерно 20 нм/мин;
- селективность к фоторезисту > 1:1;
- селективность к лежащему в основе платиновому слою > 50:1;
- равномерность ±3% (по 100 мм подложке).
ICP-RIE (реактивное ионное травление с применением индуктивно-связанной плазмы):
- анизотропное травление;
- скорость: 60-180 нм/мин;
- селективность к фоторезисту > 0.5;
- равномерность ±3% (по 100 мм подложке).
Для достижения вертикальных стенок и примерно постоянной скорости травления через всю ЦТС структуру и Pt слой может быть реализован многошаговый процесс. Процесс может быть оптимизирован, после окончания травления ЦТС структуры, при переходе к травлению платины возможно добиться селективности > 50:1. Возможен контроль конечной точки травления с помощью лазерного интерферометра или по оптической эмиссии.