Реактивное ионное травление ZnS
Лаборатория OIPT: анизотропное травление на глубину 0.85 мкм, фоторезист не смыт.
Технология:
- Реактивное ионное травление;
- Частота возбуждения плазмы 13 МГц;
- Плазма горит между параллельными пластинами.
Результаты:
- Скорость травления: 20 нм/мин;
- Профиль: анизотропный;
- Поверхность с низкой шероховатостью;
- Равномерность: +/-5% (пластина диаметром 75 мм);
- Маска: фоторезист.