Skip

Реактивное ионное травление ZnS

лаборатория OIPT: анизотропное травление на глубину 0.85 мкм фоторезист не смыт


Технология:
реактивное ионное травление
частота возбуждения плазмы 13 МГц
плазма горит между параллельными пластинами

Результаты:
скорость травления: 20 нм/мин
профиль: анизотропный
поверхность с низкой шероховатостью
равномерность: +/- 5 % (пластина диаметром 75 мм)
маска: фоторезист