Процессы травления алюминия (Al)
Анизотропное реактивное травление алюминия (Al)
Институт электронных технологий, Варшава: ширина Al дорожек 0,2-0,5 мкм.
Травление алюминия (Al) с ICP источником
Лаборатория OIPT: анизотропное травление Al (резист не удален).