Оборудование для спектроскопии методом рассеяния медленных ионов
Анализ методом рассеяния медленных ионов заключается в бомбардировании образца ионами инертных газов с энергией в несколько кэВ. Оборудование позволяет получить детальную информацию о структуре и элементном составе поверхности исследуемых объектов, а также выявить ее дефекты.
