Система для осаждения пленок Oxford Instruments PlasmaPro 1000 Stratum PECVD
Система PlasmaPro1000 Stratum PECVD — высокопроизводительная система для осаждения пленок из газовой фазы, обеспечивает огромные преимущества в производстве LED устройств.
PlasmaPro1000 Stratum PECVD - спроектирована специально для осаждения пассивационных слоев в LED устройствах.
- спроектирована для осаждения слоев SiO2 и SiNx;
- высокие качество продукции и выход годной продукции;
- надежное оборудование и простота в обслуживании позволяют максимизировать время эксплуатации.
Электрод большой площади и оптимизированная система подачи газа через газовый душ позволяют увеличивать количество пластин, обрабатываемых за одну загрузку.
Размеры партий:
- Размер подложки 150mm/6" - 7 подложек;
- Размер подложки 100mm/4" - 15 подложек;
- Размер подложки 50mm/2" - 61 подложка.
