Реактивное ионное травление InP насквозь
Лаборатория OIPT, Яттон: сквозная глубина травления InP 100 мкм.
Технология:
- реактивное ионное травление (RIE-Mode): 13.56 МГц;
- равномерная подача газа через газовый душ;
- рабочие газы: BCl3 и HBr.
Результаты:
- скорость травления > 2.5 мкм/мин;
- равномерность < +/-5% (по 3 дюймовой подложке);
- селективность > 15:1 к фоторезисту;
- профиль: анизотропный (или другой формы).