Магнетронное распыление алюминия (Al)
Фотография СЭМ показывает пленку Al, осажденную на кремниевые тренчи с аспектным соотношением 1:1 и 2:1. Непрерывная металлическая пленка даже в местах углов тренчей.
| | PlasmaPro 100 | PlasmaPro 400 |
|---|---|---|
| Скорость напыления | > 200 нм/мин | > 20 нм/мин |
| Равномерность | < ± 15% (размер мишени - 250 мм) | ± 5% (размер мишени 200 мм) |
| Размер единичной подложки | до 200 мм | до 150 мм |
| Размер партии пластин | - | 4 x 150 мм или 8 x 100 мм |
Основные преимущества процесса:
- Широкий температурный диапазон осаждения;
- Гладкая поверхность;
- Конформное покрытие ступенек и тренчей.